Cibles de pulvérisation cathodique pour barres omnibus en cuivre de haute pureté (4N-6N)
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Cible de pulvérisation cathodique pour barres omnibus en cuivre de haute pureté – Déclaration relative au processus et à l’assurance qualité
Nos cibles de barres omnibus en cuivre sont spécialement conçues pour le dépôt physique en phase vapeur sur de grandes surfaces et à grand volume, où un revêtement uniforme sur de longues longueurs est essentiel.
Caractéristiques clés du processus
La fabrication utilise des techniques métallurgiques et d'usinage avancées pour garantir des performances constantes :
●Matériau de départ : Des cathodes en cuivre électrolytique de qualité supérieure, d'une pureté ultra-élevée vérifiée, servent de base.
●Raffinage sous vide : Plusieurs étapes de fusion sous vide éliminent les impuretés gazeuses et métalliques pour atteindre des niveaux de 4N à 6N.
● Coulée continue : L'extrusion à chaud contrôlée ou la coulée continue produisent des billettes longues et denses à structure homogène.
●Travail à chaud : Le forgeage et le laminage affinent la taille des grains et permettent d’atteindre une densité quasi théorique.
●Découpe et usinage de précision : le sciage et le fraisage CNC permettent de créer des dimensions rectangulaires précises avec des faces parallèles.
●Préparation de surface : Le meulage et le polissage en plusieurs étapes produisent des surfaces de pulvérisation propres et sans défaut.
●Options de collage : Collage à basse température à l’indium ou collage élastomère sur des plaques de support en acier inoxydable ou en molybdène disponible.
● Conditionnement en salle blanche : Le nettoyage final par ultrasons et le double emballage sous vide garantissent une livraison sans contamination.
Système de contrôle de la qualité
● Traçabilité complète de la source de cathode à la barre omnibus cible finie
● Certification complète des matériaux et rapports d'essais fournis avec chaque unité
● Échantillons d'archives conservés pendant au moins 3 ans pour vérification indépendante (SGS, BV, etc.).
● Inspection à 100 % des paramètres essentiels :
• Vérification de la pureté (analyse GDMS/ICP ; teneur en oxygène généralement < 5 ppm)
• Test de densité (≥99,5 % théorique)
• Évaluation de la structure granulaire (métallographie)
• Précision dimensionnelle (CMM ; parallélisme ≤ 0,1 mm typique)
• Qualité et rugosité de surface (profilomètre + inspection en salle blanche)
● Les spécifications internes dépassent les normes ASTM F68. Caractéristiques typiques : conductivité thermique > 395 W/m·K, comportement de pulvérisation cathodique constant sans arc, taux de dépôt élevés dans les systèmes magnétrons.











